一、引言
    在現代科學(xué)技術(shù)迅猛發(fā)展的背景下，測量技術(shù)的持續創(chuàng )新與突破已成為推動(dòng)各領(lǐng)域進(jìn)步的核心動(dòng)力。相移干涉術(shù)（PSI）作為一種先進(jìn)且精確的測量技術(shù)，正逐步展現其廣泛的應用潛力和顯著(zhù)的技術(shù)價(jià)值。

    二、相移干涉術(shù)的發(fā)展歷程
    回顧上世紀80至90年代，這一時(shí)期見(jiàn)證了相移干涉術(shù)的顯著(zhù)發(fā)展?；谙嘁聘缮嫘g(shù)原理的自動(dòng)3D測量顯微鏡實(shí)現了重大技術(shù)突破，其快速且非接觸式的高精度計量能力得益于精確控制并獲取一系列具有特定相位變化的圖像。相移的產(chǎn)生通常通過(guò)干涉物鏡的機械運動(dòng)實(shí)現，這種精準的機械控制為測量準確性提供了堅實(shí)保障。

    三、干涉測量的原理
    干涉儀之所以能成為測量物體表面特性的有效工具，關(guān)鍵在于其巧妙利用了光的波動(dòng)特性。通過(guò)分離光源并使光線(xiàn)沿不同路徑傳播，再重新組合并引導至數字相機，通過(guò)測量合成光的強度，實(shí)現對被測物體表面與參考表面的細致對比和分析。

    四、相移的實(shí)現方法
    在相移干涉術(shù)中，條紋圖的強度分布通?？捎谜液瘮得枋?。實(shí)現相移的方法多樣，常見(jiàn)的是使用壓電陶瓷PZT移動(dòng)反射鏡，使參考臂光程產(chǎn)生階梯式變化。每種方法均有其特點(diǎn)和適用場(chǎng)景。

    五、相位解包裹的重要性
    在條紋分析中，相位常被限制在-π到π之間，導致不連續的相位躍變。相位解包裹過(guò)程對此問(wèn)題至關(guān)重要，雖存在多種算法，但無(wú)絕對完美之選，需根據具體需求和條件靈活選用。

    六、干涉儀的設計
    當前技術(shù)領(lǐng)域中，主流干涉儀設計多參考三種經(jīng)典結構之一，并在此基礎上進(jìn)行優(yōu)化和創(chuàng )新。

    七、相移干涉術(shù)的測量精度
    相移干涉術(shù)在測量精度方面表現突出，尤其在縱向精度上，能為測量提供極高準確性。然而，橫向精度受衍射限制，表現相對一般。通過(guò)詳細比較不同測量技術(shù)的精度，科研人員和工程技術(shù)人員可根據實(shí)際需求選擇最合適的測量方法。

    八、相移干涉術(shù)的應用
    在眾多應用領(lǐng)域中，光纖連接器的質(zhì)量控制尤為關(guān)鍵。光纖連接器的性能直接影響光信號傳輸的穩定性和可靠性。光纖端面干涉儀成功應用相移干涉術(shù)，精確控制光纖端面參數，顯著(zhù)提升光纖連接器性能，保障光通信系統的高效運行。