OptoFlat® 高精度低相干干涉儀
Product Details
OptoFlat® 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內獨有的低成本、高穩定性以及結構緊湊的平面專(zhuān)用低相干干涉儀。其采用低相干性長(cháng)壽命633nm的LED光源,波長(cháng)帶寬1nm。在測量透明材質(zhì)的雙面平行光學(xué)元件的單個(gè)表面面型時(shí)不會(huì )受到其他表面的干涉條紋影響,所以OptoFlat可以排除來(lái)自多個(gè)表面的干擾,直接測得目標表面的面型精度。對于測量實(shí)心玻璃棱鏡的前表面面型時(shí)也可以抑制其他反射面的影響。
產(chǎn)品特點(diǎn)
*自動(dòng)光強調節與FlexFlatTM傳輸平臺相結合,減少了操作人員在測量時(shí)的干預
*無(wú)需反復測量,無(wú)需掃描測試位置
*與其他基于激光的Fizeau干涉儀不同,OptoFlat集成了長(cháng)壽命的LED光源
*內置專(zhuān)有的PurePhaseTM方法提升了在不穩定的振動(dòng)環(huán)境中的干涉相位測量
*校準過(guò)的低畸變1X和4X光學(xué)放大率的比例尺準確的測試面積尺寸,可自動(dòng)標記或用戶(hù)定義有效通光孔徑,便于判定測試合格/不合格
*簡(jiǎn)單易用的測試軟件界面便于光學(xué)元件的批量測量,使任何人只要稍加培訓就可以輕松測試多樣的光學(xué)元件,專(zhuān)業(yè)的樣品承載臺可快速批量測試每個(gè)零件。非接觸式傳感開(kāi)始 測量并能快速分析判斷產(chǎn)品合格/不合格
*設計簡(jiǎn)潔,占地小
產(chǎn)品應用
*測量拋光光學(xué)表面的面型和透射波前
技術(shù)規格
放大倍率 |
1X放大倍率 |
4X放大倍率 |
有效測量區域 |
Φ101.6mm |
Φ25.4mm |
相機分辨率 |
1200×1200pixels |
1920×1200pixels |
相機頻率 |
40Hz |
|
空間采樣 |
88μm/pixels |
22μm/pixels |
畸變 |
0.089% |
0.05% |
景深 |
+/-12.6mm |
+/-2.2mm |
RMS測量精度 |
0.1nm |
|
RMS重復性 |
0.03nm |
|
波長(cháng) |
633nm,1nmFWHM |
|
相干深度 |
300μm |
|
工作距離 |
90mm |
|
傾斜調整范圍 |
+/-2° |
|
平移調整范圍 |
+/-8mm |
|
樣品承載臺 |
175×175mm |
|
軸向移動(dòng)范圍 |
65mm連續移動(dòng),100mm拆掉墊圈 |
|
最大被測樣品 |
100mm厚,5kg重 |
產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER