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OptoFlat® 高精度低相干干涉儀

OptoFlat? 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內獨有的低成本、高穩定性以及結構緊湊的平面專(zhuān)用低相干干涉儀。其采用低相干性長(cháng)壽命633nm的LED光源,波長(cháng)帶寬1nm。在測量透明材質(zhì)的雙面平行光學(xué)元件的單個(gè)表面面型時(shí)不會(huì )受到其他表面的干涉條紋影響,所以OptoFlat可以排除來(lái)自多個(gè)表面的干擾,直接測得目標表面的面型精度。對于測量實(shí)心玻璃棱鏡的前表面面型時(shí)也可以抑制其他反射面的影響。
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Product Details

OptoFlat® 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內獨有的低成本、高穩定性以及結構緊湊的平面專(zhuān)用低相干干涉儀。其采用低相干性長(cháng)壽命633nm的LED光源,波長(cháng)帶寬1nm。在測量透明材質(zhì)的雙面平行光學(xué)元件的單個(gè)表面面型時(shí)不會(huì )受到其他表面的干涉條紋影響,所以OptoFlat可以排除來(lái)自多個(gè)表面的干擾,直接測得目標表面的面型精度。對于測量實(shí)心玻璃棱鏡的前表面面型時(shí)也可以抑制其他反射面的影響。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)


*自動(dòng)光強調節與FlexFlatTM傳輸平臺相結合,減少了操作人員在測量時(shí)的干預

*無(wú)需反復測量,無(wú)需掃描測試位置

*與其他基于激光的Fizeau干涉儀不同,OptoFlat集成了長(cháng)壽命的LED光源

*內置專(zhuān)有的PurePhaseTM方法提升了在不穩定的振動(dòng)環(huán)境中的干涉相位測量

*校準過(guò)的低畸變1X和4X光學(xué)放大率的比例尺準確的測試面積尺寸,可自動(dòng)標記或用戶(hù)定義有效通光孔徑,便于判定測試合格/不合格

*簡(jiǎn)單易用的測試軟件界面便于光學(xué)元件的批量測量,使任何人只要稍加培訓就可以輕松測試多樣的光學(xué)元件,專(zhuān)業(yè)的樣品承載臺可快速批量測試每個(gè)零件。非接觸式傳感開(kāi)始   測量并能快速分析判斷產(chǎn)品合格/不合格

*設計簡(jiǎn)潔,占地小

 

產(chǎn)品應用


*測量拋光光學(xué)表面的面型和透射波前

 

技術(shù)規格


放大倍率

1X放大倍率

4X放大倍率

有效測量區域

Φ101.6mm

Φ25.4mm

相機分辨率

1200×1200pixels

1920×1200pixels

相機頻率

40Hz

空間采樣

88μm/pixels

22μm/pixels

畸變

0.089%

0.05%

景深

+/-12.6mm

+/-2.2mm

RMS測量精度

0.1nm

RMS重復性

0.03nm

波長(cháng)

633nm,1nmFWHM

相干深度

300μm

工作距離

90mm

傾斜調整范圍

+/-2°

平移調整范圍

+/-8mm

樣品承載臺

175×175mm

軸向移動(dòng)范圍

65mm連續移動(dòng),100mm拆掉墊圈

最大被測樣品

100mm厚,5kg重

產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER